Сочетание микрофокусной рентгеновской трубки с поликапиллярной рентгеновской оптикой и системой регистрации рентгенофлуоресцентного спектра QUANTAX EDS позволяет создать на базе сканирующего электронного микроскопа полноценный микрорентгенофлуоресцент- ный спектрометр.

Чувствительность микрорентгенофлуоресцентного метода в сравнении с электронным ис- точником возбуждения в 20–50 раз лучше в области средних и тяжелых химических элементов с пределом обнаружения до 10 ppm.

Программа ESPRIT позволяет провести вычисление концентраций, полученных с помощью электронного микроскопа и QUANTAX Micro-XRF, в одном интерфейсе для уточнения оконча- тельного результата.