Современная волнодисперсионная оптическая система с автоматической настройкой и юсти- ровкой.

Конструкция по принципу «параллельного пучка» с коллимирующей оптикой скользящего па- дения, позволяющая получить наилучшее энергетическое разрешение в длинноволновой об- ласти энергий.

Энергетическое разрешение 4,6 эВ на линии Si Kα, что примерно на порядок лучше в сравне- нии с EDS-системой.

Диапазон измеряемых спектрометром энергий — от 100 эВ до 3600 эВ.

Выбор из 6 кристаллов-анализаторов для оптимального решения задачи: многослойные 200 Å (Be, B), 80 Å (C, N), 60 Å (400 – 950 эВ), 30 Å (500 – 2000 эВ), TAP (500 эВ – Si Kα) и PET (Si Kα – 3600 эВ).

Измерение в каждой точке на образце и расчет содержаний возможны с помощью и EDS-, и WDS-метода в одном окне программы ESPRIT.