Второе поколение XHR SEM (сканирующие электронные микроскопы сверхвысокого разрешения) — флагманской линейки компании FEI. Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Его непревзойденная работа при низких ускоряющих напряжениях обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность достигает 0.6 нм!
Микроскоп Verios абсолютно незаменим при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных SEM, этот прибор позволяет работать с нано узлами, что превращает его в комплексное решение для теоретических исследований, управления технологическими процессами, создания материалов, задач фрактографии, анализа дефектов.
FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
Электронная пушка Elstar, в том числе:
Термополевой эмиттер Шоттки
Возможность замены без прерывания работы
Технология UC (монохроматор)
двойная объективная линза с углом 60° с защитой полюсного наконечника
Нагреваемые апертуры объектива
Электростатическое сканирование
Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
Интегрированная функция быстрого гашения пучка