Высокоустойчивая автоэмиссионная пушка Шоттки

Срок службы источника 12 месяцев

Простые установка и обслуживание пушки — автоматический прогрев, автоматический запуск, отсутствие потребности в механической регулировке положения

Автоматизированные нагреваемые апертуры

Непрерывное регулирование тока пучка и оптимизированная апертура

Двухступенчатое обнаружение при сканировании

Линза с двойным объективом, сочетающая электромагнитные и электростатические линзы

Геометрия линзы объектива 60°

Подсказки для пользователя и предустановки

Ионная колонна Sidewinder

Жидкометаллический галлиевый источник ионов с высокой плотностью тока

Срок службы источника: гарантируется 1 300 часов/2 600 мкА

Ускоряющее напряжение: от 500 В до 30 кВ

Ток зонда: от 0,6 пА до 65 нA, 15 ступеней

Стандартное гашение пучка

Апертурная полоса с 15 положениями

Увеличение: 40×-1,28Mх в зависимости от  светофильтра

Режим подавления смещения входит в стандартную комплектацию для непроводящих образцов

Формирование изображения в высоком вакууме, оптимальное рабочее расстояние

3,0 нм (статистика на основе свыше 50 кромок)

5,0 нм (статистика на основе свыше 1000 кромок)

Максимальная ширина горизонтального поля: 4,0 мм при рабочем расстоянии 7 мм (соответствует минимальному увеличению до 30x в квадрантном виде)

Особо широкая зона видимости (1х), достигаемая благодаря стандартному навигационному монтажу